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在
精密零件加工领域,变压器式测微机构,又称互感式传感器,是自感式传感器的一种变型。其原理类似变压器,不同的是,后者为闭合磁路,前者为开放磁路。后者初、次级之间的互感为常数,前者初、次级之间的互感随衔铁的移动而变化,两个次级绕组按差动方式工作,称为差动变压。它和自感式传感器统称为电感传感器。
比如在
精密机械零件加工厂,
精密加工的变压器式测微机构有变气隙式、变截面式和螺管式三种类型。
变气隙式灵敏度高,但测量范围小,一般只用于测量范围几十微米到几百微米的位移。变截面式一般用于测量角位移,可分辦零点几秒的微小角位移,线性可达+-10°。螺管式可测量几纳米到1m的位移,但灵敏度低。
在精密零件加工领域,变压器式测微机构的误差来源与电感测微机构有相同的因素,不同之处在于多了一个初级线圈,又带来一定的误差来源,温度的影响可以从电路上来补偿。