对于 精密零件加工机床或测量仪器，由于设计， 零件加工制造、装配以及使用条件等方面的原因，使其加工出来的产品有误差，或者对零件加工产品的测量结果要产生误差，此误差的大小和变化就是 精密机械零件加工厂该设备的精度。

影响精密机械零件加工厂设备精度的原因各种各样，因而精密零件加工产生各种误差，根据特性可以分为三大类，即粗大误差、偶然误差和系统误差。

在精密零件加工过程中，粗大误差是设备在工作中由于激烈的瞬时变化，如冲击、碰撞及工作条件的波动造成的误差，这种误差精密机械零件加工厂可作抛弃处理。

在精密零件加工过程中，偶然误差是设备工作中其本身一些尚未控制好的微小因素，如传动链中的间隙变化、零件的弹性变形、润滑油带来的停滞、摩擦力的变化等造成的误差。这些误差的大小变化及误差方向没有规律，对这些因素要精密机械零件加工厂严格加以控制。现代数控机床及加工中心可以对影响因素随时监控并反馈加工，自动校正。对于测量仪器的测量结果，可以多次等精度测量，将结果处理取值。

在精密零件加工过程中，系统误差是影响设备精度的主要因素，在各项误差中占主要成分。一般由设备的关键部件、零件精度和装配精度决定，其误差的大小和变化规律固定不变，可以采用误差校正机构来减少和消除系统误差对设备工作精度的影响。